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NGK STORY

08 在营销和技术紧密合作引导下的HPC事业

化工机事业部是肩负着扩大非绝缘子事业的中心作用的部门之一。通过营销和技术的紧密合作,不断探索各种新事业,其中一项就是后来作为HPC事业得到极大发展的半导体制造装置用陶瓷。

对新事业需求的探索

为了实现“6:4构想”,本公司从20世纪60年代开始就在开拓非绝缘子事业,而在其中起到中心作用的部门之一就是化工机事业部(现在的产业工程事业部)。该部从成立时开始就以开发新领域的产品为使命,将把握需求和挖掘商业机会作为营销活动的中心。。与其他事业领域不同,化工机事业部经常与不同的行业来往,因此被判断为适合探索新事业的部门。营销抓住需求,技术将该需求与本公司的技术相匹配,并向客户提出具体的实现方案。像这样发挥“技术+营销”的潜力,通过探索新主题和掌握需求努力追求着商业化。

在开拓新事业的基础上,部分稳定化的氧化锆(PSZ)和碳化硅(SiC)等本公司的各种陶瓷材料技术成为了巨大的优势。且在食品、废弃物处理和资源回收等各个领域都致力于开拓用途的工作。从中创造出了诸如啤酒制造用陶瓷过滤器等成果。我们探索需求的目标之一就是半导体制造装置领域。

高强度发动机零部件“陶瓷涡轮增压器转子”,即使是脆弱的陶瓷也能够经受严酷的使用条件。
在那之后,该技术在半导体制造装置用陶瓷中得到了充分运用。

在各个领域中使用的陶瓷过滤器

用于食品的生物反应器

努力实现商业化,强化生产能力

虽然我们通过半导体领域的探索,在日本国内半导体制造装置制造商中彻底捕捉到了晶圆加热用陶瓷加热器的需求,但耐腐蚀性未能达标,即使变更材料,被采用的用途也有限,数量无法实现大幅增加。

因此,本公司拜访了位于美国的世界上最大的半导体制造装置制造商。结果,薄膜形成装置(CVD)用陶瓷部件得到了良好的反响。因为需要有耐气体腐蚀性,所以才选中了本公司的材料。本公司从中发现了商业化的可能性,于是于1994年11月表示将开发半导体制造装置用陶瓷部件,并从次年起开始了产品化的工作。1995年以H项目为名开始活动,同时推进了批量生产设备的强化措施,1997年开始生产带轴加热器和静电吸盘。

其背景除了有持续扩大的全球半导体市场,后来还有被称为IT泡沫的以美国为中心的互联网相关行业的盛况。

2000年8月,除知多事业所之外,小牧事业所也新设了生产线,通过强化生产能力,对之后增加的客户需求也充分得以应对。2002年1月取得了美国半导体制造装置用模块制造商FM INDUSTRIES(FMI)的经营权,实现了从零部件制造商向综合模块制造商的转变。FMI在2010年5月取得了LJ Engineering & Manufacturing, Inc(LJ公司)的事业,并于2012年2月通过从Praxair Surface Technologies, Inc(PST公司)处收购面向半导体领域的喷镀部门事业,将公司定位为美国半导体制造装置制造商的重要腔室部件制造商,业绩得到了大幅增长。

半导体制造装置用陶瓷加热器

半导体制造装置用静电吸盘

生产场景

引领HPC事业走向成功的因素

经营半导体制造装置用产品的HPC事业之后也在继续发展,现在正在岐阜县多治见市建设新工厂,计划于2019年10月开始投入生产。

FMI

NGK CERAMIC DEVICE的多治见新工厂

HPC事业已成为支撑本公司的一大支柱。使之成为可能的,首先是自创立以来培养起来的陶瓷材料相关的知识和制造技术。虽说是电子行业,但终归还属产品制造。第二个是对开拓新事业抱有极大的野心。如果没有将营销和技术合为一体,向实现当时“6:4构想”的目标发起挑战,半导体制造装置用陶瓷可能便不会实现商业化了。还有一个不能忘记的,就是本公司的专利战略。运用本公司所持有的氧化锆相关专利,与日本国内陶瓷制造商签订了交叉授权协议,从而使产品化成为可能,并通过接连不断地申请相关专利,获得了压倒性的市场份额。这样的知识产权战略也是将HPC事业引向成功的一个重要原因。