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半導体製造装置用セラミックス

半導体製造装置用
セラミックス

半導体製造に変革をもたらす
ハイパフォーマンスの
ファインセラミックス。

耐熱性、耐食性、耐久性などに優れるファインセラミックス。この特長を生かし、高温の腐食性ガスやプラズマなどにさらされる半導体製造プロセスにおいても安定した性能を発揮するセラミック製品を提供しています。
独自のホットプレス製法で成形・焼成することにより、半導体に悪影響を及ぼす不純物を極限まで低減。高純度で緻密な結晶体が、高い絶縁抵抗性を発揮し、半導体の生産性を高めます。
「セラミックヒーター」や「静電チャック」のほか、窒化アルミニウムや酸化アルミニウムなどの各種素材のチャンバー用部品も製造しています。

静電チャックエッチングなどのプロセスでシリコンウエハーを吸着固定するステージ。高精度ヒーターとの一体化、冷却プレートとの接合など、用途に応じた各種機能を追加でき、半導体の生産効率を格段に高めます。
セラミックヒーター成膜プロセスでシリコンウエハーの温度を均一にコントロールするためのステージ。ウエハーを置く発熱体ステージの底面に、管(シャフト)を接合した独自の構造により、端子や導線をハロゲンガスなどから保護します。

電子・電気機器用セラミックス

電子・電気機器用
セラミックス

より速く、小さく、美しく。
エレクトロニクスの進化を支えています。

AIやIoTなど、次々と新たなテクノロジーが生まれている今。エレクトロニクスの進化を、NGKグループは高度なセラミック技術で支えています。スマートフォンなどの通信品質の高度化や高速化を実現する「複合ウエハー」は、次世代LTE(高速データ通信規格)や第5世代(5G)移動通信システムにも対応します。NGKグループ独自のセラミック技術によって誕生した「EnerCera(エナセラ)」シリーズは、熱に強く、電子部品のように扱えるまったく新しい電池で、IoTデバイスやスマートカードなど次世代機器の電源として期待されています。NGKグループは、革新的な電子部材や電子部品を生み出し、エレクトロニクスの高度化に貢献します。

複合ウエハーセラミック分野で培った独自の接合技術や超高精度薄板研磨技術により開発した電子デバイス用の基板。異なる素材のウエハーを貼り合わせることで、単一材料のウエハーでは実現できない性能や機能を引き出します。
ハードディスクドライブ(HDD)用圧電マイクロアクチュエーター電圧をかけると伸縮する圧電セラミックスには、高速応答、高精度、小型、大パワーなどの特徴があります。磁気ヘッドの精密なコントロールに欠かせないHDD用超小型アクチュエーターは、ハードディスクの大容量化と高信頼性を両立させるキーデバイスとして、世界中のデータセンターで活躍しています。
チップ型セラミックス二次電池「EnerCera」電極に独自の結晶配向セラミックス板を使用した、小型・薄型でエネルギー密度の高いリチウムイオン二次電池。無線通信に必要な大電流を出力できるほか、耐熱性が高いためデバイスへの高温プロセスの実装が可能です。IoTデバイスなど次世代機器の普及に貢献します。
透光性アルミナセラミックス「ハイセラム 」高純度アルミナを高密度に焼結することで、高透光性と高強度を実現。半導体のパッケージ工程で半導体チップを固定する基板など、高い信頼性が要求される半導体分野を中心にさまざまな製品に使われています。
窒化ガリウム(GaN)ウエハー「FGAN 」独自の結晶成長技術でウエハー全面にわたる低欠陥密度を達成。今までにない半導体レーザーの高出力化を実現します。高輝度の照明やプロジェクターの光源などに活用できます。
紫外LED用マイクロレンズ殺菌や樹脂硬化などに使われる紫外LED用極小レンズ。照射範囲を制御することで、殺菌効果の向上に貢献します。浄水場で使用されている水銀ランプに代わる光源のほか、空気清浄機などへの応用も期待されています。
セラミックパッケージ/絶縁放熱回路基板世界トップシェアの高周波デバイス用セラミックパッケージ(写真左上)をはじめ、水晶パッケージ(左下)やCMOSイメージセンサー用などの各種セラミックパッケージ、パワー半導体用絶縁放熱回路基板(右)をNGKエレクトロデバイスで製造・販売しています。

ベリリウム銅合金

優れた強度、バネ性、耐疲労性で、
電子機器の信頼性向上、
小型・軽量化を実現。

銅に数パーセントのベリリウムを添加した「ベリリウム銅合金」。
導電性や熱伝導性に優れる銅の特長に加え、特殊鋼に匹敵する高い強度と耐久性を兼ね備えています。この展伸材や細線は、耐疲労性に優れ寿命が長く、信頼性の高い導電バネや接点の材料として、携帯電話や家電、自動車、産業機器などに幅広く活用され、信頼性向上や小型・軽量化に貢献しています。アメリカ、ヨーロッパ、アジアに生産・加工・販売拠点を展開し、高度な生産技術と徹底した品質管理のもと、世界の幅広い産業分野で活用されています。

ベリリウム銅0.045mmの板や条、棒状、直径0.05mmの線状まで、さまざまな合金種と硬さのバリエーションをそろえ、ニーズに対応。高強度、高導電性、耐疲労性、高温特性、加工性、耐食性を兼ね備えています。
ニッケルすず銅2016年から量産を開始したニッケルすず銅は、ベリリウム銅に匹敵する高強度に加え、耐熱性や耐摩耗性に優れる高機能銅合金です。用途に応じて多様な合金種と硬さのバリエーションを揃えています。